潔凈廠房一些能量消耗特征

①潔凈廠房是能量消耗大戶，它的能量消耗包括潔凈室中的生產設備用電、用熱、用冷，凈化空調系統的耗電、耗熱和冷負荷，冷凍機組的耗電，排氣處理裝置的耗電、耗熱，各種高純物質的制取、輸送耗電、耗熱和冷負荷，各種動力公用設施的用電、耗熱、用冷以區照明用電等。同樣面積下潔凈室的能量消耗是一股寫字樓的 10倍，甚至更大。電子工業潔凈廠房有的需要大空問、大面積、大體量。隨著科學技術的發展，為達到電子產品生產的規?；?、高可靠性能要求，常常采用連續生產的多工序集成的大型精密生產設備，為此需布置在建筑面積大、潔凈生產區與上下技術夾層“貫通，的大空間和組合式的大體量的潔凈廠房。

②常常在電子工業潔凈廠房內設置相應的輸送管道及其必需的排氣處理設施，這些排氣處理設施既消耗能量，又會增大潔凈室的送風量。電子產品潔凈廠房能量消耗大，為滿足潔凈生產環境所必需的空氣凈化設施包括凈化空調系統、供冷供熱系統均大量耗能，若空氣潔凈度等級要求嚴格時，由于潔凈送風量和新風量都較大，所以能量消耗較大，且全年幾乎每天晝夜連續運行

③各種耗能設施使用的連續性。為確保各類潔凈室的空氣潔海度等級一致、室內各種功能參數的穩定以及產品生產工藝的需要，許多潔凈室都采用連線運轉的方式，通常是晝夜 24h連續運行。由于潔凈室連續運行，要求供電、供冷、供熱等均需按潔凈室內的產品生產工藝要求或生產計劃的安排進行調度，及時供應各種能源。在各類潔凈室的能量消耗中，除產品生產設備及與產品品種關系密切的冷卻水、高純物質、化學品和特種氣體等的能量供應隨產品品種、生產工藝變化外，在潔凈室的能量消耗總量中占有較大比例的是制冷機、凈化空調系統的電能、冷(熱)能消耗。

④ 依據潔凈廠房的產品生產工藝要求和環境控制要求特點，無論是在冬季、過渡季還是在夏季，對溫度低于 60°的所謂 “低位熱能”都有需求。例如凈化空調系統在冬季、過渡季要求供應不同溫度的熱水對室外新風加熱，只是不同季節的供熱量是不同的。在電子產品生產用潔凈廠房中大多使用大量的純水，集成電路芯片制造、TFT-LCD 面板制造過程的純水小時用量達數百噸，為獲得所需品質的純水，通常都采用反滲透(RO)技術;RO裝置要求水溫保持在25°C左右，常常需要供應一定溫度的熱水。對一些企業的調研表明，近年來正逐漸利用潔凈廠房的低位熱能如制冷用冷水機組的冷凝熱提供 40°C左右的低溫熱水，替代原來的采用低壓蒸汽或高溫熱水進行加熱/預熱，取得了明顯的節能效益、經濟效益。因此，潔凈廠房既有低位熱源的 “資源”，又有低位熱能的需求，這是潔凈廠房融合利用低位熱能降低能耗的重要特征之一。